职  称:教授
研究方向:3D打印、微纳加工
办公电话:liuh146@nenu.edu.cn
办公地点:物理学院314房间

个人简历

***招收物理、光学、材料等相关专业研究生,联系电话:18004430180 邮件地址:liuh146@nenu.edu.cn 刘华:2001年毕业于东北师范大学物理学院,获得理学学士学位。2006年在中科院长春光学精密机械与物理研究所获得光学博士学位。2008年在应用光学光家重点实验室博士后出站。此后直到2017年5月,一直在长春光机所工作十余年,主要从事衍射光学、非成像光学以及光学设计等领域方面的研究工作。对物理光学理论以及衍射元件的设计、加工有着坚实的基础和对于光学设计有着丰富的经验。创新性地提出能同时刻制绝对式光栅尺双码道的DMD(德州IT公司数字微镜阵列)双头大型紫外光刻设备的整体方案,作为该系统负责人在国家数控重大专项项目中获经费1600万。完成非成像激光光源和高分镜头设计、杂散光抑制和装调检测等工作,形成光刻样机,获得多项专利支持。 2017年5月后进入东北师范大学物理学院,在原来的工作基础上,搭建DMD光刻和飞秒激光相结合的综合性微纳三维打印设备,建设了3D微纳打印实验室,主要进行光敏材料和玻璃材料的3D微纳打印方向研究,利用激光和DMD打印设备加工三维光学系统、光学自由曲面透镜和阵列、以及生物支架和芯片。这是多学科交叉领域,涉及到光学设计、微纳加工、材料等学科,具有广阔的发展空间。 主持科研项目共22项,其中包括国家自然基金重点项目、面上项目、中科院青促会项目、吉林省中青年科技创新领军人才及团队项目、吉林省重点科技攻关项目、参与国家自然基金、国家重大科研仪器研制项目、863项目等十余项。目前共计发表学术论文80余篇,其中SCI收录论文50篇,多篇发表在光学等领域重要国际学术期刊 Optics Letters, Optics Express, Appl. Opt.等上。共申请40多项项国家发明专利,其中已获授权国家发明专利20余项。为Optics Letters, Optics Express, Applied Optics等国际期刊审稿人。培养博士研究生10余名,硕士研究生20余名。 (一)学习和工作经历 1997年—2001年,东北师范大学,物理专业,学士 2001年—2006年,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,光学专业,博士,导师:卢振武 2006年3月-2008年3月,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,博士后 2008年4月-2014年9月,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,光电技术研发中心,副研究员 2014年9月-2017年4月,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,光电技术研发中心,研究员 2017年5月起,东北师范大学,物理学院,教授 (二)主要学术任职  2011 -至今,国家自然科学基金函评专家;  2017-至今,中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会,高级会员;  2015-至今,The Optical Society of America(OSA),高级会员;  2007-至今,中国光学学会,高级会员; (三)获奖成果 2005 年度“中科院冠名奖学金大恒奖”; 2006年度“中国科学院王宽诚博士后工作奖励基金”; 2006年度“中国博士后基金会基金奖励”; 2006年度王大珩先生设立的“长白科技奖”优秀奖; 2010年度“中国科学院卢嘉锡人才奖”; 2011年入选中国科学院青年创新促进会,成为首批会员; 2011年度“吉林省自然科学学术成果奖” 二等奖; 2012年度“吉林省科学技术奖” 二等奖。 2017年获吉林省中青年科技创新领军人才及团队; (四)支主持承担项目和成果转换 1)作为项目负责人先后完成了国家自然基金、863等多项项目,总计获得项目经费3000多万; 2)将近红外照明器和DMD光刻机技术转化成立2个科技公司:长春长光奥立红外技术有限公司于2014年成立,主要进行近红外照明器的产品研发和销售,目前年销售额1000万以上。长春长光中天光电科技有限公司于2016年成立,公司注册资金2000多万,目前进行光学系统模块研发和DMD光刻设备研制,年销售额1000万元以上。 ①“自由曲面折/衍混合透镜的激光复合制备和光学性能研究”,自然科学基金面上项目(61875036),2019.01-2022.12 负责人 ②“紫外半导体激光高效、均匀光源模块研制” 吉林省技术攻关项目,2019.01-2021.12 负责人 ③“XXX超透镜”军口基础预研项目 2021.01-2024.12 负责人 ④“光学成像模块光学系统研发”,长春长光中天光电科技有限公司 2018.07-2020.12 负责人 ⑤“高效、高均匀性光源模块”,长春长光中天光电科技有限公司 2019.10-2022.12 负责人 ⑥“复眼系统研制”空间光电测量与感知实验室开放基金课题 2019.01-2019.12 负责人 ⑦“基于DMD光刻系统的液晶光控取向器件研制”长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室开放项目 2018.06-2020.06 负责人 ⑧“激光原位微区双刻蚀仪器光学系统开发与研制”西安光机所,2018.06-2020.12 负责人 ⑨“红外光学系统开发”西安光机所,2017.06-2019.12 负责人 ⑩ “基于衍射光学甚高分辨率空间望远技术”国家军口863 2011.06-2016.07 负责人 ⑪“修正折/衍混合系统像质分析模型的研究” 国家自然科学基金 2008.01-2010.12 负责人 ⑫“超大口径衍射望远系统设计研究”国家军口863 2007.01-2007.06 负责人 ⑬“新型复眼光学系统的应用研究”长春光机所创新基金 2006.07-2008.12 负责人 ⑭“新型复眼光学系统的应用研究” 国家863项目 2007.01-2009.12 总体负责人 ⑮“折/衍混合成像元件的飞秒激光超精细加工技术及应用研究” 国家自然科学基金重点项目 2012.01-2016.12 分项目负责人 ⑯“非成像LED军用便携式强光照明灯具研究” 长春光机所创新基金 2011.3-2012.06 项目负责人 ⑰“利用Ru2Si3的红外吸收光电特性构建黑硅太阳能电池材料的研究” 吉林省自然科学基金项目 2011.01-2013.12 项目负责人 ⑱“大功率近红外LED照明技术在掌纹仪中应用” 吉林省重点科技攻关项目2013.01-2015.12 负责人 ⑲“成像模块研发”中国工程物理研究院核物理与化学研究所横向项目 2016.05-2016.12 负责人 ⑳“吉林省长光所新型近红外光谱仪创新团队” 吉林省中青年科技创新领军人才及团队项目2015.01-2017.12 负责人 ⑳“高集成化单码道绝对式光栅尺研发及产业化” 国家数控专项 2013.1-2016.12 分系统负责人 ⑳“适用于工业现场的高速高精度成像平台” 国家科技厅重大专项项目 (与北京凌云公司合作) 2014.01-2018.12 照明光源分系统负责人 (五)发表论文 发表论文80余篇,其中在OPTICS EXPRESS、APPLIED OPTICS等国际期刊以第一和通讯作者身份发票论文50余篇。 1.Shuping Guo,1,† Zifeng Lu,1,† Zheng Xiong,2 Long Huang,1 Hua Liu,1,* AND Jinhuan Li1, Lithographic pattern quality enhancement of DMD lithography with spatiotemporal modulated technology ,Optics Letters, Vol. 46, No. 6 (2021) ISSN: 0146-9592 2.Shuang Zhou,1,† Zifeng Lu,1,† Qixiang Yuan,1 Guangkun Wu,1 Chunxia Liu,2 AND Hua Liu1,* Measurement and compensation of stitching error in a DMD-based step-stitching photolithography system Applied Optics Vol. 60 No. 28(2021)ISSN:1559-128X 3.Haolin Zhang, Hua Liu *, Wenbin Xu, and Zhenwu Lu, Large aperture diffractive optical telescope: a review Optics and Laser Technology 130 106356 (2020) ISSN:0030-3992 4.Wei ZHAO1,3,4, Xin WANG†‡1, Hua LIU†‡2,4, Zi-feng LU2,4, Zhen-wu LU, Development of space-based diffractive telescopes Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering 21(4)1-19(2020)ISSN 2095-9184 (print); ISSN 2095-9230 5.Ying Zhang 1, † Jun Luo,1, † Zheng Xiong2 Hua Liu1,4,* Li Wang,3 User-defined microstructures array fabricated by DMD based multistep lithography with dose modulation, Optics Express Vol. 27, No. 19 18597-18607(2019)ISSN:1094-4087 6.Qian-Kun Li; Yao Xiao; Hua Liu*; Hao-Lin Zhang; Jia Xu; Jin-Huan Li Analysis and correction of the distortion error in a DMD based scanning lithography system Optics Communications 434 1-6(2019)ISSN: 0030-4018 7.Zhongyuan Liu a , Hua Liu a,b,c,* , Zifeng Lu a,b , Qiankun Li a , and Jinhuan Li a,b A beam homogenizer for digital micromirror device lithography system based on random freeform microlenses Optics Communications 443, 144-149 (2019)ISSN: 0030-4018 8.Zifeng Lu1,2 , Jinghang Zhang 1, Hua Liu 1,2, *, Jialin Xu 3 and Jinhuan Li 1,2,The Improvement on the Performance of DMD Hadamard Transform Near-Infrared Spectrometer by Double Filter Strategy and a New Hadamard Mask Micromachines 10, 149 (2019) ISSN:2072-666X 9.Zheng Xiong ,1,2,3 , Hua Liu1,3,* , Ronghuan Chen 1, Jia Xu 3 , Qiankun Li 1, Jinhuan Li1, Wenjuan Zhang1 Illumination uniformity improvement in digital micromirror device based scanning photolithography system, Optics Express Vol. 26, No. 14 18597-18607(2018)ISSN:1094-4087 10.Ronghuan Chen 1, Hua Liu 1,* , Haolin Zhang 2,3 , WenjuanZhang 1, Jia Xu 3, Wenbin Xu3, Jinhuan Li1,Edge smoothness enhancement in DMD scanning lithography system based on a wobulation technique Optics Express Vol. 25, No. 18 21958-21967(2017)ISSN:1094-4087 11.Haolin Zhang 1,2,3,4, Hua Liu 1,*, Wenbin Xu 4, Angel Lizana 2, and Zhenwu Lu 4 Error analysis of large diameter subaperture stitching Fresnel diffractive elements Applied Optics Vol. 56 No. 27 (2017)ISSN:1559-128X 12.Haolin Zhang 1,2,3,4, Hua Liu 1,*, Angel Lizana 2, Wenbin Xu 4, JUAN CAOMPOS2 ,And Zhenwu Lu 4 Methods for the performance enhancement and the error characterization of large diameter ground-based diffractive telescopes, Optics Express Vol. 25, No. 22 26662-26677(2017)ISSN:1094-4087 13.JL Xu,H Liu,CB Lin,Q Sun “SNR analysis and Hadamard mask modification of DMD Hadamard Transform Near-Infrared spectrometer” Opt. Commu. 383:250-254 (2017)

社会兼职

获奖情况

  • 2005 年度“中科院冠名奖学金大恒奖”;
    2006年度“中国科学院王宽诚博士后工作奖励基金”;
    2006年度“中国博士后基金会基金奖励”; 
    2006年度王大珩先生设立的“长白科技奖”优秀奖;
    2010年度“中国科学院卢嘉锡人才奖”;
    2011年入选中国科学院青年创新促进会,成为首批会员;
    2011年度“吉林省自然科学学术成果奖” 二等奖;
    2012年度“吉林省科学技术奖”  二等奖。

教学信息 (数据来源:教务处)

  • 光学原理
  • 光学研究方法
  • 现代物理实验方法(一)
  • 综合物理实验18
  • 基础物理实验118
  • 探索物理实验
  • 大学物理实验B
  • 大学物理实验60
  • 综合物理实验26
  • 探索物理实验48
  • 大学物理实验
  • 基础物理实验117
  • 基础物理实验1
  • 探索物理实验20
  • 大学物理实验B5
  • 探索物理实验23
  • 综合物理实验28
  • 综合物理实验24
  • 探索物理实验76
  • 综合物理实验20
  • 大学物理实验62
  • 综合物理实验23

科研信息

  • •	作为项目负责人先后完成了国家自然基金、863等多项项目,总计获得项目经费2500多万,转化成立2个科技公司,其中一个目前已经成立5年,年销售额1300万以上。
    ①	“基于衍射光学甚高分辨率空间望远技术”国家军口863 220万 2011.06-2016.07 负责人
    ②	“修正折/衍混合系统像质分析模型的研究” 国家自然科学基金 20万2008.01-2010.12	 项目负责人
    ③	“超大口径衍射望远系统设计研究”国家军口863 15万 2007.01-2007.06  负责人
    ④	“新型复眼光学系统的应用研究”长春光机所创新基金45万 2006.07-2008.12  负责人
    ⑤	“新型复眼光学系统的应用研究”  国家863项目 95万 2007.01-2009.12 总体负责人
    ⑥	“折/衍混合成像元件的飞秒激光超精细加工技术及应用研究” 国家自然科学基金重点项目 290万 2012.01-2016.12 分项目负责人(50万)
    ⑦	“非成像LED军用便携式强光照明灯具研究” 长春光机所创新基金 155万2011.3-2012.06  项目负责人  
    ⑧	“利用Ru2Si3的红外吸收光电特性构建黑硅太阳能电池材料的研究” 吉林省自然科学基金项目  5万   2011.01-2013.12  项目负责人	
    ⑨	“大功率近红外LED照明技术在掌纹仪中应用” 吉林省重点科技攻关项目2013.01-2015.12  16万  负责人
    ⑩	“成像模块研发”中国工程物理研究院核物理与化学研究所横向项目490万2016.05-2016.12 负责人
    ⑪	“吉林省长光所新型近红外光谱仪创新团队” 吉林省中青年科技创新领军人才及团队项目2015.01-2017.12  15万  负责人
    ⑫	“高集成化单码道绝对式光栅尺研发及产业化” 国家数控专项 1602万  2013.1-2016.12 分系统负责人
    ⑬	“近红外信号采集器”兵工204所 50万 2017.01-2018.12 负责人
    
    ⑭	“适用于工业现场的高速高精度成像平台”  国家科技厅重大专项项目 (与北京凌云公司合作)490万2014.01-2018.12 照明光源分系统负责人
    论文
    1.	Ronghuan Chen, Hua Liu* , Haolin  Zhang , WenjuanZhang, Jia Xu, Wenbin Xu, Jinhuan Li,Edge smoothness enhancement in DMD scanning lithography system based on a wobulation technique  Optics Express  Vol. 25, No. 18 21958-21967(2017)
    2.	Haolin Zhang, Hua Liu*, Wenbin Xu, Angel Lizana, Caompos Juan and Zhenwu Lu, Error analysis of large diameter subaperture stitching Fresnel diffractive elements  Applied Optics  Vol. 56 No. 27 (2017)
    3.	Haolin Zhang, Hua Liu*, Angel Lizana, Wenbin Xu, Zhenwu Lu, Methods for the performance enhancement and the error characterization of large diameter ground-based diffractive telescopes, Optics Express  Vol. 25, No. 22 26662-26677(2017)
    4.	 JL Xu,H Liu,CB Lin,Q Sun “SNR analysis and Hadamard mask modification of DMD Hadamard Transform Near-Infrared spectrometer” Opt. Commu. 383:250-254 (2017) 
    5.	Xiaoduo Wang, HuaLiu Larissa Juschkin YunpengLiJialinXuXi “Freeform lens collimating spectrum-folded Hadamard transform near-infrared spectrometer” Opt. Commu. 380 161-167  (2016)
    6.	Xiangqian Quan, HuaLiu*, Zhenwu Lu, Xiangzi Chen, Xiaoduo Wang, Jialin Xu and Qun Gao. “Correction and analysis of noise in Hadamard transform spectrometer with digital micro-mirror device and double sub-gratings” [J] Optics Communications, Issue. 359 (2016).
    7.	Xiangqian Quan, HuaLiu*, Zhenwu Lu, Yongqian Quan, Xiaoduo Wang, Hetuo Chen, and Heyang Bu. “Design of stray light suppressed digital micromirror device-based spectrometer with compound parabolic concentrato” [J] Optical Engineering, Vol. 54, Issue. 11 (2015).
    8.	 Hua Liu, “Diffractive analysis of circular amplitude Computer-generated Hologram (CACGH) for aspheric test” Optical Engineering  54(11)114108-1—114108-5 (2015)
    9.	Lei Jing, Hua Liu*, YaoWang, Wenbin Xu, Hongxin Zhang, and Zhenwu Lu “Design and Optimization of Fresnel Lens for High Concentration Photovoltaic System” International Journal of Photoenergy (2014)
    10.	Zheng Xiong  Hua Liu* Xiangquan Tan Zhenwu Lu Cuixia Li Liwei Song Zhi Wang  “Diffraction analysis of digital micromirror device in maskless photolithography system” J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS 13(4), 043016 (2014)
    11.	Guang Jin, Junliang Yan, Hua Liu*, Xing Zhong, and Yong Yan “Flat-stitching error analysis of large-aperturephoton sieves” Applied Optics, 53(1): 90-95 (2014)
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